rga殘餘氣體分析儀原理 殘餘氣體分析儀是在真空腔內利用RGA離子分化器將氣體分子電離，電離後的帶電粒子進入四極杆產生的偏轉電場內，由於不同的粒子質量數不一樣，在一定的電場作用下所形成的偏轉半徑就不一樣。RGA是殘留氣體分析ResidualGasAna...
