是納米光學透鏡面型精度是採用精密拋光表面與理想平面的偏差量來表徵。因為使用可以測量波面的光學干涉儀來測量，所以也被稱為反射波面精度。光學透鏡面型精度的干涉條紋數的單位是[λ]。λ是干涉儀所使用的氦氖激光器的波長632.8nm。光學平面精度的單位是什麼平面度是一種屬於形位誤差中的形狀誤差，是表示零件的平面要素實際形狀，保持理想平面的狀況，也就是通常所説的平整程度。具體指基片具有的宏觀凹凸高度相對理想平面的偏差。公差帶是距離為公差值t的兩平行平面之間的區域。平面度的單位是μm。
