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流量ml/min--每分钟毫升数，是流量单位。每分钟5毫升。min是minute的缩写，其中文解释为分钟，ml是表示液体的单位，用来表示毫升，5ml/min其整体意思就是每分钟5毫升。100ml/min=100sccm。1ml/min=1sccmsccm是体积流量单位SCCM...