按照原子结构分，高纯晶硅可以分为单晶硅、多晶硅、无定形硅。多晶硅与单晶硅的差异主要表现在物理性质方面。例如在力学性质、电学性质等方面，多晶硅均不如单晶硅，而单晶硅基本上均由多晶硅拉制而成。因此，高纯硅产品又常常被高纯多晶硅。按照用途和纯度等级分，可以分为电子级硅和太阳能级硅。高纯硅可作半导体材料，制造集成电路、晶体管、硅整流器等半导体器件，还可以制造太阳能电池。
