资料显示，ASML 旗下的高端EUV光刻机，配合熟悉的操作员，1个小时能处理200片圆晶，考虑到良品率，以及正常工作时间影响，1天的产量在1000片左右，而这样一片圆晶，大约能出500块良品芯片。
也就是说，一台EUV光刻机一天的产能在50万块芯片左右，如果全年无休加班生产，可以生产1.8亿块，基本上能满足华为对高端芯片的需求
一台光刻机一天最高能刻50万芯片。
光刻机在实际操作中最高为每小时处理100片左右，一天工作下来也就是1000片。不过，这只是晶圆，芯片产能还需要进一步计算。以113.31平方毫米的麒麟990 5G为例，一块12英寸的晶圆在去除边角区域后，大约可生产600块芯片，数量已经十分可观。芯片制造十分复杂、严苛，稍有不慎便可能使得整片芯片废掉。因此，还不得不考虑到良品率，这样一来，一块12英寸晶圆能生产的芯片数量便降至500片左右。一天下来，EUV光刻机能生产50万片芯片，这一数字依旧十分惊人。
光刻机的理想工作状态，一台光刻机一天能生产800×600颗芯片，也就是48万颗芯片，除去产品中的一部分次品，一天剩下的大概在40万颗芯片左右
