洁净室施工及验收规范
》（jgj71-90）中规定，被检高效过滤器须已经检测过风量，并设计风速80%-120%之间运行，对于被检高效过滤器上风侧的颗粒浓度对受控粒径对于≥0.5μm 粒子的浓度，须≥3.5×104pc/l，对受控粒径≥0.1μm 的粒子浓度，须≥3.5×106-3.5×107pc/l。使用最小采样量＞1l/min 的粒子计数器扫描法，对高效过滤器安装接缝和主断面进行扫描检测，检测点应距被测表面20-30mm，测头以5-20mm/s 的速度移动，对被检过滤器整个断面、封胶头和安装框架处进行扫描。在《洁净室施工及验收规范》中规定，由高效过滤器下风侧泄漏浓度换算成的穿透率来衡量是否合格
进瓶段和冷却段高效过滤器过滤效率应满足≥99.995%，加热段高效过滤器过滤效率应满足≥99.95%。这个合格标准是不是描述有误啊99.995%指的是出厂时的过滤效率指标。而不是检漏的标准。
