臭氧能渗透到细菌或病毒中，使其变成酵素。而RNA 、溶霉菌等物质会被分解，DNA 则于受损后被击溃。臭氧的杀菌力为氯的 3000 倍，消毒力为甲酚原液的 30 倍。细菌以蛋白质、 RNA、 DNA为主要成分，由多糖类、蛋白质、脂质等构成。病毒则是由蛋白质、 RNA、DNA所构成。要使细菌或病毒死亡以及不活性化，必须损伤其成分或加以破坏、分解。
