碳化硅退火需要激光的碳化硅SiC晶体生长最常见，最成熟的方法仍然是物理气相输运法（PVT），该方法是一种气相生长方法，生长温度高，对原材料以及工艺参数等都有很高的要求。退火处理是指将材料在特定气氛中加热到一定的温度，保温一段时间之后，再以合适的速率冷却的一种方法，是材料领域很常见的一种热处理工艺。是的，激光淬火是利用高功率激光束使工件表面非平衡快速加热和冷却，实现相变硬化。在激光扫描的过程中，即已发生变化，不需要退火。因此，激光淬火生产效率高，可靠性高，是一种无污染绿色环保热处理工艺。
